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  • 美国限制向中国出售DUV设备:三星海力士担心受牵连!

    韩国脉冲公司称,美国的新制裁措施禁止向中国供应深紫外线芯片设备,韩国的三星和SK海力士公司担心自身受到牵连。 3月初,美国国家安全委员会(NSC)称,应限制向中国出售DUV设备。限制中特别提到了与氟化氩(ArF)有关的技术,氩氟浸没式光刻技术对于16纳米或更小尺寸的双极型生产至关重要。 消

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